Установка вакуумного напыления Kurt J Lesker PVD_DRUM

Платформа PVD-DRUM

Платформа PVD-DRUM сочетает в себе барабан для подложек и линейными источниками магнетронного распыления, что обеспечивает высокую производительность и однородность наносимых покрытий.

Вертикальный цилиндрический барабан вмещает множество пластин и вращается через шлейф линейных источников осаждения.

Линейные источники магнетронного напыления обеспечивают очень равномерное покрытие на большой площади, однородность осаждения менее +/- 5%.

В этой установке используется стандарты, применяемые на моделях PVD 75, PVD 200 и PVD 500.

Поддерживаемые источники напыления: электронно-лучевой, магнетронный, термический, LTE


Запросить конфигурацию под ваши задачи. В запрос просим приложить требования к процессу или опросный лист.


Посмотреть детальное описание можно в каталоге