Цена за 1
Я согласен на обработку персональных данных
Настольная центрифуга SPIN200i предназначена для деликатной очистки полупроводниковых пластин в кислотах, щелочах, растворителях, перекиси водорода, а также других химических веществах в сочетании с обработкой мегазвуковыми колебаниями, подаваемыми в зазор между излучателем и пластиной, заполненный химическим веществом. Устройство поддерживает работу с пластинами и осколками диаметром до 302 мм, закрепляемых с помощью вакуумных или механических держателей.
Корпус центрифуги полностью выполнен из фторопласта PTFE, а крышка сделана из прозрачного полимера для наблюдения за процессом и снабжена отверстием под распылитель.
Открытие и закрытие крышки контролируется защитным механизмом. Во время процесса возможна продувка объёма камеры азотом. На дне камеры есть сливное отверстие для подключения к системе утилизации остатков резиста и растворителей. Управление осуществляется с помощью отделяемого от корпуса программируемого контроллера с химстойким сенсорным экраном.
Отмывка пластин с мегазвуком производится при помощи модуля MegPie, создающим в зазоре пластина-излучатель волн заполнение ДИ водой или реактивом, являющейся проводящей средой.
Количество рецептов неограниченно с учётом внешнего подключения к USB-порту. Рецепты могут быть защищены паролем.
Характеристики:
Скорость вращения
от 1 до 12 000 об/мин с шагом 1 об/мин
Точность задания скорости
±1 об/мин
Ускорение / замедление
1 – 30 000 об/мин
Направление вращения
По / против часовой стрелки, окунание
Минимальное время вращения
0.1 сек
Вакуумные держатели
2 шт., для пластин и мелких фрагментов, дополнительные по запросу
Возможности программирования
- Время на шаг (0.1 – 99 999 сек) - Скорость вращения (0 – 12 000 об/мин) - Направление вращения - Ускорение / замедление - Включение / выключение вакуума - 3 сухих контакта для управления распылителем, напуском азота и др.
Размеры и вес
380х 307 х 559 мм, 20кг
Электропитание
220-240 В / 50 Гц, 5 А, 500 Вт
