Техника напыления:

·       Электронно-пучковое испарение

·       Термическое испарение

·       Магнетронное распыление

·       3D / внеосевое распыление

Система PVD720-R2R оснащается инновационными инвертированными магнетронными источниками Isoflux, представляет собой полностью автоматизированную платформу протяжного типа «с катушки на катушку» с улучшенными возможностями осаждения покрытий на волокна.

PVD720-R2R предназначена для исследований и полноформатного производства оптических волокон и сверхпроводящих покрытий.

Включает в себя подающую катушку, приемную катушку и до 2 инвертированных источника магнетронного напыления с цилиндрическим катодом.

В стандартной конфигурации система оснащается двумя катодами диаметром 2 и длиной 6 дюймов. Катоды установлены последовательно друг над другом, обеспечивая возможность напыления двух различных материалов послойно в едином цикле обработки или проведение иных специфичных процессов.

Особенности установки

·       Различные варианты конфигурации источников

·       Компактный дизайн

·       Автоматизированные катушки

·       Полностью компьютерное управление с базой данных рецептов

·       Образец окружён материалом в процессе напыления

·       Высокая степень использования мишени – до 75%

·       Исключительная однородность покрытия

·       Запатентованная конструкция катода

·       Универсальный DC, импульсный DC или AC источник питания магнетрона

·       Более высокая эффективность относительно плоских магнетронов

·       Простой процесс смены мишени и установки катода

Области применения

·       Конформные 3D покрытия

·       Покрытие проводов и оптических волокон

·       Сверхпроводящие ленты

·       Нанесение ЭМИ-защитных покрытий

·       Нанесение термобарьеров и изолирующих слоёв

·       Алмазоподобный углерод

·       Оптические покрытия

·       Биосовместимые покрытия

·       Катетеры

·       Антимикробные/антибактериальные покрытия

Компьютерное управление

·       Управляющий компьютер на базе MS Windows

·       Интерфейс разработан в соответствии со стандартом SEMI E95-0200

·       Диспетчерский контроль над насосами, клапанами и другими элементами ручного управления

·       Контроль расходомеров и перемещения образца

·       База данных с рецептами

·       Дистанционная диагностика системы

Опциональное оснащение

·       Сухой форвакуумный насос

·       Турбонасос производительностью 685 или 1000 л/сек, крионасос производительностью 1500 л/сек

·       Заслонка образца

·       Подача реактивного газа

·       Универсальный DC, импульсный DC или AC источник питания магнетрона

·       Охлаждающий ролик для ленты или волокна

·       Катушки и ролики, разработанные под специализированную ленту или волокно