Цена за 1
Я согласен на обработку персональных данных
Приставка зеркального отражения для спектрометра ФСМ в интернет-магазине EQUM.RU
Контроль характеристик кремниевых пластин диаметром до 200 мм в ручном режиме с помощью универсального ИК фурье-спектрометра ФСМ.
Особенности и преимущества:
Параметры пластин контролируются высокочувствительным бесконтактным методом в заданных оператором точках.
Для измерения в режиме отражения используется приставка зеркального отражения ПО200 с углом падения луча 10º.
Пластины крепятся в приставках с помощью специальных держателей, представляющих собой съёмные кольца, в которых пластину, не повреждая, фиксируют дюралевые зажимы. Держатель выбирается в соответствии с размерами исследуемых образцов.
Выбор контрольных точек на образце производится вручную путем изменения положения подвижной части приставки с закрепленной на ней пластиной. Таким образом, пластину можно вращать вокруг оси, а также перемещать плоско-параллельно. Для контроля этого перемещения обе приставки снабжены шкалами, отградуированными соответственно в градусах и в мм.
Угол падения луча 10º
Габаритные размеры (Ш х Г х В) 237 Х 256 х 203 мм
Характеристики:
№
Характеристика
Образец
Пределы измерения
Стандартное отклонение,
не более
Междунар. стандарт
1
Концентрация междуузельного кислорода, см-3
пластина
0,4–2,0 мм
5x1015–2x1018
5x1015
SEMI MF1188
2
Концентрация углерода замещения, см-3
1016–5x1017
1016
SEMI MF1391
3
Радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах
-
SEMI MF951
4
Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+, мкм
0,5–10,0
10–200
0,1
1%
SEMI MF95
5
Толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС, мкм
0,1–10,0
6
Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС, % вес
1–10
0,2
