Цена за 1
Я согласен на обработку персональных данных
Контроль характеристик кремниевых пластин диаметром до 200 мм в ручном режиме с помощью универсального ИК фурье-спектрометра ФСМ.
Особенности и преимущества:
Характеристики:
№
Характеристика
Образец
Пределы измерения
Стандартное отклонение,
не более
Международный стандарт
1
Концентрация междуузельного кислорода, см-3
пластина
0,4–2,0 мм
5x1015–2x1018
5x1015
SEMI MF1188
2
Концентрация углерода замещения, см-3
1016–5x1017
1016
SEMI MF1391
3
Радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах
-
SEMI MF951
4
Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+, мкм
0,5–10,0
10–200
0,1
1%
SEMI MF95
5
Толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС, мкм
0,1–10,0
6
Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС, % вес
1–10
0,2