(812)240-00-78 доб.290/816/817, 8(953)164-42-32
Приставка пропускания для пластин кремния ПП200
В наличии

Приставка пропускания для пластин кремния ПП200

(0)

Цена за 1 шт

- + шт Купить в один клик Сравнить
Контроль характеристик кремниевых пластин диаметром до 200 мм в ручном режиме с помощью универсального ИК фурье-спектрометра ФСМ.

Приставка для спектрометра - в наличии в интернет-магазине

Контроль характеристик кремниевых пластин диаметром до 200 мм в ручном режиме с помощью универсального ИК фурье-спектрометра ФСМ.

Особенности и преимущества:

  • Параметры пластин контролируются высокочувствительным бесконтактным методом в заданных оператором точках.
  • Для измерений в режиме пропускания используется приставка ПП200.
  • Пластины крепятся в приставках с помощью специальных держателей, представляющих собой съёмные кольца, в которых пластину, не повреждая, фиксируют дюралевые зажимы. Держатель выбирается в соответствии с размерами исследуемых образцов.
  • Выбор контрольных точек на образце производится вручную путем изменения положения подвижной части приставки с закрепленной на ней пластиной. Таким образом, пластину можно вращать вокруг оси, а также перемещать плоско-параллельно. Для контроля этого перемещения обе приставки снабжены шкалами, отградуированными соответственно в градусах и в мм.
  • Получение и обработка данных осуществляется с помощью специализированной программы SemiSpec.
  • Габаритные размеры (Ш х Г х В) 140 х 248 х 212 мм

Характеристики:

№ 

  Характеристика

Образец

Пределы измерения

Стандартное отклонение,

не более

Международный стандарт

1

  Концентрация междуузельного кислорода, см-3

пластина

0,4–2,0 мм

5x1015–2x1018

5x1015

SEMI MF1188

2

  Концентрация углерода замещения, см-3

пластина

0,4–2,0 мм

1016–5x1017

1016

SEMI MF1391

3

  Радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах

-

-

-

SEMI MF951

4

  Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+, мкм


0,5–10,0

10–200

0,1

1%

SEMI MF95

5

  Толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС, мкм


0,1–10,0

1%


6

  Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС,  % вес


1–10

0,2


Приставка для спектрометра доступна для заказа со склада интернет-магазина ЭлТех.
Имя Файл Размер Скачать
  • Комментарии
Загрузка комментариев...
  • Поделиться:

С этим товаром рекомендуем

Комплект держателей пластин для приставок ПО200 и ПП200
В наличии