(812)240-00-78 доб.290/816/817, 8(953)164-42-32
Установка контактной литографии Neutronix NXQ 8000
В наличии

Установка контактной литографии Neutronix NXQ 8000

(0)

Цена за 1 шт

- + шт Купить в один клик Сравнить
Установка литографии Neutronix Quintel NXQ8000
Производитель:  Neutronix Quintel

Установка контактной литографии Neutronix NXQ 8000 в интернет-магазине ЭлТех

Установка литографии NXQ8000 объединяет последние достижения роботизированной автоматизации с современным дизайном следующего поколения от Milara, Inc.

Двурукий робот обеспечивает молниеносную передачу пластин с удвоенной точностью и включает в себя предварительный выравниватель от Logosol, который может обнаруживать прозрачные подложки, что делает его идеальным для не только для кремния, но и для широкого спектра сложных полупроводниковых материалов. 

На этапе выравнивания NXQ8000 используются новейшие технологии линейного перемещения. Точность достигается с помощью микроскопа Quadcam с 5-кратным увеличением объектива, что обеспечивает идеальное сочетание увеличения, поля зрения и глубины резкости.

Характеристики:
Размер поддерживаемых пластин: От 5Х5 мм до D200 мм (роботом от 2” до 8”)
Совместимость с размером 60х48 мм: Да
Минимальный размер элемента: от 0,6 мкм
Мощность лампы: 350/500 Вт или 500/1000 Вт или 1000/2000 Вт
Спектральные диапазоны: Базовый: UV (350-450 нм); Опциональные: NUV (280-350 нм); MID UV (280-450 нм); DUV (220-280 нм)
Неоднородность поля в круге 6: ± 3%
Погрешность совмещения на 3Ω: 0.5 мкм (по верхней), 0,75 мкм (по нижней)
Робот: Загрузка пластин (опция). 90 пластин/час
Размеры фотошаблонов: От 3х3” До 9х9”
Электропитание: 230 В 50 Гц

Габариты, мм, без робота (с роботом)
Ширина: 815 (1640)
Длина: 1215 (1215)
Высота: 1770 (1980)
Вес: 680 кг (953 кг)

Установка литографии NXQ8000 Series идеально подходит для производства микроэлектроники.
Имя Файл Размер Скачать
  • Комментарии
Загрузка комментариев...
  • Поделиться: