(812)240-00-78 доб.290/816/817, 8(953)164-42-32
Установка ионно-лучевого травления NIE-4000
В наличии

Установка ионно-лучевого травления NIE-4000

(0)

Цена за 1 шт

- + шт Купить в один клик Сравнить
Установка предназначена для высокопрецизионного травления слоев материалов с высокой точностью.
Производитель:  NANO-MASTER Inc

Установка ионно лучевого травления в интернет-магазине АО ЭлТех СПб

Установка предназначена для высокопрецизионного травления слоев материалов с высокой точностью.

Характеристики:

1.    Базовое давление в камере 5х10-6 торр, достигаемое за 20 минут;

2.    Ручная загрузка и выгрузка пластин;

3.    Установка имеет возможность работы ионного источника с газами Ar, O2;

4.    Установка имеет возможность удаленного управления углом наклона подложкодержателя в диапазоне ± 90 °С;

5.    Скорость вращения подложки 10 об/мин;

6.    Скорость травления по Cu: 20 нм/мин, по Si: 50 нм/мин;

7.    Неоднородность травления по толщине 2% в зоне луча и 5% в области;

Комплектность:

  • Объемная камера из нержавеющей стали 14” с магнитным дверным контактом MDC 8” и окном 5”.
  • Фронтальная дверь 8” c окном для наблюдения 5”
  • Турбомолекулярный насос Pfeiffer 1200 Turbo 1240 л/с с безмасляным насосом Anest Iwata ISP-500C обеспечивают базовое давление откачки диапазона 10-8 торр
  • Широкодиапазонный манометр: Edwards WRG D NW (Ø) 25, Baratron 626А 0,1 торр.
  • Блок ионного источника Kauffman KDS 75 c двойной нитью: установлен на правой стороне камеры.
  • Ионный источник: диаметр пучка 8 см, ионный ток 250мА, 1200эВ, с акселератором 300 Ма, 600 В, с нейтрализатором и пневматическим затвором.
  • Столик 6" для подложек: бескислородная медь высокой проводимости + нержавеющая сталь, с водяным охлаждением, вращение и привод от вакуумного шагового двигателя, оптимизирована для пластин 4”, может наклоняться относительно ионного луча на +/- 90 °С, управление посредством ПК.
  • Заслонка столика
  • Расходомеры 50 sccm M100B

Система управления: Промышленный ПК c ОС на базе Windows

Установка ионно лучевого травления находится на складе магазина. Уточнить информацию о стоимости и характеристиках товара можно по телефонам: (812)240-00-78 доб.290/816/817

Имя Файл Размер Скачать
  • Комментарии
Загрузка комментариев...
  • Поделиться: